Edwards SPスピーディバルブはダイヤフラム式インライン遮断バルブです。 ・ネジ機構はダイヤフラムによってシステムから隔絶されるため、きわめて丈夫で汚染への耐性が高いバルブとなっています。 ・バルブはNWフランジで終端され、パイプライン固定とパネル取り付けのいずれも可能です。(SP42Kはパイプライン固定のみ可能)。口径(mm)：φ25 ・接続口：NW25 ・サイズ（mm）：100×67×140 ・手動式 ・材質：アルミシリコン合金 ・ダイアフラム材質：ニトリル ・リーク量：10^-6mbarL/s（バルブ）、10^-7mbarL/s（カプリング） ・使用圧力：900000〜1×10^-3Pa ・ベーク温度：60℃Edwards SPスピーディバルブはダイヤフラム式インライン遮断バルブです。 ・ネジ機構はダイヤフラムによってシステムから隔絶されるため、きわめて丈夫で汚染への耐性が高いバルブとなっています。 ・バルブはNWフランジで終端され、パイプライン固定とパネル取り付けのいずれも可能です。(SP42Kはパイプライン固定のみ可能)。口径(mm)：φ25 ・接続口：NW25 ・サイズ（mm）：100×67×140 ・手動式 ・材質：アルミシリコン合金 ・ダイアフラム材質：ニトリル ・リーク量：10^-6mbarL/s（バルブ）、10^-7mbarL/s（カプリング） ・使用圧力：900000〜1×10^-3Pa ・ベーク温度：60℃
